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[供应] 爱德华干式真空泵 iH160 维修
有 效 期:永久
产品规格:iH160
产品数量:未填写
包装说明:未填写
价格说明:未填写
快速联系:0755-29704325-801 / 13670081851 郭小姐(女士)
详细说明:iH160 干式泵 460V,60 Hz,3 相,PN:A59010908
iH160 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相,PN:A59010945
iH160 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相,PN:A59010946
iH160 干式泵 230V,60 Hz,3 相,PN:A59010957
Edwards 高**半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照**高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时**大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
Edwards iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时**大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器,而**五**泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。
峰值速度: 165 m3h-1
97 cfm
2750 l min-1
**限真空: 1 x 10-2 mbar
7.5 x 10-3 Torr
1 Pa
典型轴封氮流量: 4 slm
进气口连接: ISO63
出口连接: NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量: 120 l h-1
2 l min-1
重量: 244 kg
**限功率输入: 3.1 kW
电机额定功率: 5.0 kW
油容量: 0.85 l
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